Термодинамічний аналіз складу газової фази системи InAs-GaAs-HCI
dc.contributor.author | Большакова, І. А. | |
dc.contributor.author | Кость, Я. Я. | |
dc.contributor.author | Макідо, О. Ю. | |
dc.contributor.author | Стецко, Р. М. | |
dc.contributor.author | Шуригін, Ф. М. | |
dc.date.accessioned | 2013-06-21T08:51:34Z | |
dc.date.available | 2013-06-21T08:51:34Z | |
dc.date.issued | 2011 | |
dc.identifier.citation | Термодинамічний аналіз складу газової фази системи InAs-GaAs-HCI / І. А. Большакова, Я. Я. Кость, О. Ю. Макідо, Стецко Р. М., Шуригін Ф. М. // Чотирнадцята відкрита науково-технічна конференція Інституту телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки Національного університету "Львівська політехніка" з проблем електроніки : тези доповідей, 5–7 квітня 2011 р., Львів / Національний університет "Львівська політехніка". – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2011. – С. 8. | uk_UA |
dc.identifier.uri | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/19938 | |
dc.language.iso | ua | uk_UA |
dc.publisher | Видавництво Львівської політехніки | uk_UA |
dc.title | Термодинамічний аналіз складу газової фази системи InAs-GaAs-HCI | uk_UA |
dc.type | Article | uk_UA |