Моделювання форми рельєфу поверхні напівпровідників у зонах дії мілісекундних та секундних лазерних імпульсів

Simple item page
dc.citation.journalTitleЕлектроніка
dc.contributor.affiliationІнститут прикладних проблем механіки і математики ім. Я. С. Підстригача НАН Україниuk_UA
dc.contributor.affiliationНаціональний університет “Львівська політехніка”uk_UA
dc.contributor.authorКияк, С. Г.
dc.contributor.authorПетрович, I. B.
dc.contributor.authorВолодін, П. В.
dc.contributor.authorМогиляк, І. А.
dc.coverage.countryUAuk_UA
dc.coverage.placenameЛьвівuk_UA
dc.date.accessioned2018-08-16T08:11:33Z
dc.date.available2018-08-16T08:11:33Z
dc.date.issued2001
dc.description.abstractПроведено моделювання рельєфу поверхні для періодичних структур проплавів иа аморфних та кристалічних зразках Si після їх імпульсного лазерного опромінення. Зроблено розрахунок для проплавів, які мають форми з виступами та впадинами в центрах цих утворень. Результати розрахунку узгоджено з даними експерименту. The surface relief modeling for periodic fusing structures on amorphous and crystalline Si samples after their pulse laser irradiation is carried out. The computation for fusing structures, which have the forms with bulges and hollows in centers of these formations, is done. The computation results confirm experimental data.uk_UA
dc.format.pages15–23
dc.identifier.citationМоделювання форми рельєфу поверхні напівпровідників у зонах дії мілісекундних та секундних лазерних імпульсів / С. Г. Кияк, I. B. Петрович, П. В. Володін, І. А. Могиляк // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2001. – № 423 : Електроніка. – С. 15–23. – Бібліографія: 5 назв.uk_UA
dc.identifier.urihttps://ena.lpnu.ua/handle/ntb/42492
dc.language.isoukuk_UA
dc.publisherВидавництво Національного університету "Львівська політехніка"uk_UA
dc.relation.references1. Laser annealing of semiconductors (Edited by J.M.Poate, James WMayer) Academic Press. -New York, 1982. 2. Prokhorov AM, Bonchik A.Yu, Kiyak S.G., Manenkov A.A., Mikhailova G.N., Pokhmurskaja A.V., Seferov AS, Ursu I., Craciun V., Mihailescu I.N.// Appl. Surf. Sä, 1989. -43. -340. 3. Pokhmurska A, Bonchik 0., Kiyak S., Savitski G., Gloskovski A // Appl. Surf. Sci, 2000. 712. P.154-155. 4. Бончик А.Ю., Гафийчук В.В., Кияк С.Г., Савицкий Г.В.// Поверхность (физика, химия, механика), 1986. - №5. - 142. 5. Кияк С.Г., Бончик А.Ю., Гафийчук В.В., Южанин А.Г., Тислюк И.В., Похмурская А.В. // Изв. АН СССР. Сер. Физическа, 1988. - 52. - 2276.uk_UA
dc.rights.holder© Кияк С. Г., Петрович I. B., Володін П. В., Могиляк І. А., 2001uk_UA
dc.subject.udc539.315uk_UA
dc.titleМоделювання форми рельєфу поверхні напівпровідників у зонах дії мілісекундних та секундних лазерних імпульсівuk_UA
dc.title.alternativeThe simulation of surfage semiconductori relief form in zone of milisecond and second laser pulses influenceuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Files

License bundle

Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
2.99 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description:
Download

Collections

Електроніка. – 2001. – №423