Розробка системи обробки інформації з мікроелектронних сенсорів на основі КНІ-структур

Abstract

Описано тенденції розвитку сучасних вимірювальних пристроїв та перспективи використання систем збору та обробки інформації на базі мікроконтролерів фірми CYPRESS для розробки інтелектуальних сенсорів механічних величин. Наведено переваги реалізації сенсорів на основі цих систем над відомими сенсорами. Подано багатофункційний сенсор тиску-температури з цифровою оброкою вимірювальної інформації і передачею її на персональний комп’ютер. Як первинні перетворювачі використано КНІ-структури, які містять міст з чотирьох полікремнійових п’єзорезисторів і одного терморезистора.

Aspects of usage of modern measured systems on basis of microcontrolles CYPRESS for building intelligent mechanical sensors are described. Advantages of realization of the sensors on the basis of these systems above existent sensors are showed. The multyfunctional sensor of pressure-temperature with digital computing of measuring information and it’s transmission to the personal computer is presented. The primary transducers are: the SOI-structures which contain a bridge from the four polysilicon p'ezoresistors and one termoresistor.