Оцінки функціонування та точності вимірювання площ мікрооб’єктів скануючим оптичним мікроскопом
No Thumbnail Available
Date
2008
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Національного університету "Львівська політехніка"
Abstract
Розглянуто оцінку функціонування скануючого оптичного мікроскопа, а також
його точності під час вимірювання площ мікрооб’єктів. Для покрокового сканування
досліджуваного об’єкта, яке використовується у скануючому оптичному мікроскопі,
проаналізовано чинники, що впливають на точність вимірювання. Estimation of scanning optical microscope functioning is reviewed as well as its precision
at microobjects squares measuring. Factors, influencing to the measuring precision at
specimen under investigation step scanning used in scanning optical microscope are analyzed.
Description
Keywords
Citation
Николишин М. Й. Оцінки функціонування та точності вимірювання площ мікрооб’єктів скануючим оптичним мікроскопом / М. Й. Николишин // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2008. – № 618 : Радіоелектроніка та телекомунікації. – С. 16–21. – Бібліографія: 3 назви.