Удосконалення метрологічного забезпечення виробництва оптичних мікроелементів з електронним обробленням поверхні
Loading...
Files
Date
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Національний університет "Львівська політехніка"
Abstract
Відображено напрямки розвитку метрологічного забезпечення дослідного виробництва оптичних
мікроелементів за допомогою розроблення програми метрологічного забезпечення та використання методу
атомно-силової мікроскопії для вимірювання шорсткості у нанометровому діапазоні.
Отображены направления развития метрологического обеспечения опытного производства оптических
микроэлементов путем разработки программы метрологического обеспечения и применения метода
атомно-силовой микроскопии для измерения шероховатости в нанометровом диапазоне.
The directions of development of metrological guarantee for experimental production of microoptical elements by
elaboration of metrological guarantee program and application of atomic force microscopy method for measuring
of roughness in nanometre range has been demonstrated.
Description
Keywords
Citation
Малецький Є. Удосконалення метрологічного забезпечення виробництва оптичних мікроелементів з електронним обробленням поверхні. / Є. Малецький // Вимірювальна техніка та метрологія : міжвідомчий науково-технічний збірник Вип. 68 / Національний університет "Львівська політехніка" ; відп. ред. Б. І. Стадник. - Л. : Видавництво Національного університету "Львівська політехніка", 2008. - С. 88-92.