Удосконалення метрологічного забезпечення виробництва оптичних мікроелементів з електронним обробленням поверхні
| dc.contributor.author | Малецький, Євгеній | |
| dc.date.accessioned | 2011-03-11T08:06:03Z | |
| dc.date.available | 2011-03-11T08:06:03Z | |
| dc.date.issued | 2008 | |
| dc.description.abstract | Відображено напрямки розвитку метрологічного забезпечення дослідного виробництва оптичних мікроелементів за допомогою розроблення програми метрологічного забезпечення та використання методу атомно-силової мікроскопії для вимірювання шорсткості у нанометровому діапазоні. Отображены направления развития метрологического обеспечения опытного производства оптических микроэлементов путем разработки программы метрологического обеспечения и применения метода атомно-силовой микроскопии для измерения шероховатости в нанометровом диапазоне. The directions of development of metrological guarantee for experimental production of microoptical elements by elaboration of metrological guarantee program and application of atomic force microscopy method for measuring of roughness in nanometre range has been demonstrated. | uk_UA |
| dc.identifier.citation | Малецький Є. Удосконалення метрологічного забезпечення виробництва оптичних мікроелементів з електронним обробленням поверхні. / Є. Малецький // Вимірювальна техніка та метрологія : міжвідомчий науково-технічний збірник Вип. 68 / Національний університет "Львівська політехніка" ; відп. ред. Б. І. Стадник. - Л. : Видавництво Національного університету "Львівська політехніка", 2008. - С. 88-92. | uk_UA |
| dc.identifier.uri | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/7878 | |
| dc.language.iso | ua | uk_UA |
| dc.publisher | Національний університет "Львівська політехніка" | uk_UA |
| dc.title | Удосконалення метрологічного забезпечення виробництва оптичних мікроелементів з електронним обробленням поверхні | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |