Математичне моделювання внутрішніх механічних напружень в багатошарових інтегральних структурах

Abstract

Багатошарові інтегральні структури широко використовуються в радіоелектронній апаратурі та іншій сучасній техніці. При виготовленні цих структур в процесі охолодження від температури нанесення шарів до нормальної (робочої) температури, а також при експлуатації в них виникають значні механічні напруження. В цій статті запропонований метод розрахунку напружено-деформованого стану інтегральних структур. The multilayered integral structures find a wide use in radioelectronic apparatus and other contemporary engineering. Attached to making of these structures in chilling process from temperature of bringing layers to normal (work) temperature, and also attached to exploitation arise considerable mechanical stress. The computation method of tenselydeformed state of integral struktures is offered in this paper.