Вимірювання електричного опору мікророзмірних об’єктів
No Thumbnail Available
Date
2012
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
Здійснено аналітичний огляд методів вимірювання електричного опору. На основі проведеного аналізу зроблено висновок про доцільність застосування методу безконтактного вимірювання електричного опору
мікрооб’єктів. Проведен аналитический обзор методов измерения электрического сопротивления. На основе проведенного
анализа сделан вывод о целесообразности применения метода бесконтактного измерения электрического сопротивления микрообъектов.
In the article the review of the methods of measurement of electrical resistance. Based on the analysis concluded the feasibility of applying the method of contactless measurement of electrical resistance of micro.
Description
Keywords
Citation
Кривенчук Ю. Вимірювання електричного опору мікророзмірних об’єктів / Юрій Кривенчук, Ігор Микитин, Олег Сегеда // Вимірювальна техніка та метрологія : міжвідомчий науково-технічний збірник / Національний університет "Львівська політехніка" ; відповідальний редактор Б. І. Стадник. - Львів : Видавництво Національного університету "Львівська політехніка", 2012. – Випуск 73. – С. 19–21. – Бібліографія: 7 назв.