Вимірювання електричного опору мікророзмірних об’єктів

Loading...
Thumbnail Image

Date

2012

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Видавництво Львівської політехніки

Abstract

Здійснено аналітичний огляд методів вимірювання електричного опору. На основі проведеного аналізу зроблено висновок про доцільність застосування методу безконтактного вимірювання електричного опору мікрооб’єктів. Проведен аналитический обзор методов измерения электрического сопротивления. На основе проведенного анализа сделан вывод о целесообразности применения метода бесконтактного измерения электрического сопротивления микрообъектов. In the article the review of the methods of measurement of electrical resistance. Based on the analysis concluded the feasibility of applying the method of contactless measurement of electrical resistance of micro.

Description

Keywords

Citation

Кривенчук Ю. Вимірювання електричного опору мікророзмірних об’єктів / Юрій Кривенчук, Ігор Микитин, Олег Сегеда // Вимірювальна техніка та метрологія : міжвідомчий науково-технічний збірник / Національний університет "Львівська політехніка" ; відповідальний редактор Б. І. Стадник. - Львів : Видавництво Національного університету "Львівська політехніка", 2012. – Випуск 73. – С. 19–21. – Бібліографія: 7 назв.

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By