Оптимізація параметрів пружних елементів тензорезистивних вимірювачів тиску за динамічними характеристиками

Abstract

На підставі аналізу динаміки пружних елементів тензорезистивних вимірювачів тиску запропоновано методику розрахунку та оптимізації параметрів цих елементів з погляду мінімуму динамічної похибки під час вимірювання нестаціонарних процесів. На основе анализа динамики упругих элементов тензорезистивных датчиков давления предложена методика расчета и оптимизации параметров этих элементов с точки зрения минимума динамической погрешности при измерении нестационарных процессов. On based of analysis of dynamics of pressure piezoresistive sensors elastic elements the method of calculation and optimization of parameters of these elements from the point of view minimum of dynamic errors minimum at measuring of nonstationary process has been proposed.