Взаємозв'язок напружень в системах Si-SiO2 з процесами утворення тримірних дефектів
Loading...
Files
Date
2013
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
Description
Keywords
Citation
Логуш О. І. Взаємозв'язок напружень в системах Si-SiO2 з процесами утворення тримірних дефектів / О. І. Логуш, Ю. М. Білинський // Шістнадцята щорічна відкрита науково-технічна конференція Інституту телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки з проблем електроніки та інфокомунікаційних систем : програма та тези доповідей, 2–4 квітня 2013 року, Львів / Національний університет "Львівська політехніка", Інститут телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2013. – С. 47.