Взаємозв'язок напружень в системах Si-SiO2 з процесами утворення тримірних дефектів
| dc.contributor.author | Логуш, О. І. | |
| dc.contributor.author | Білинський, Ю. М. | |
| dc.date.accessioned | 2014-02-04T11:12:16Z | |
| dc.date.available | 2014-02-04T11:12:16Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Логуш О. І. Взаємозв'язок напружень в системах Si-SiO2 з процесами утворення тримірних дефектів / О. І. Логуш, Ю. М. Білинський // Шістнадцята щорічна відкрита науково-технічна конференція Інституту телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки з проблем електроніки та інфокомунікаційних систем : програма та тези доповідей, 2–4 квітня 2013 року, Львів / Національний університет "Львівська політехніка", Інститут телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2013. – С. 47. | uk_UA |
| dc.identifier.uri | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/23035 | |
| dc.language.iso | ua | uk_UA |
| dc.publisher | Видавництво Львівської політехніки | uk_UA |
| dc.title | Взаємозв'язок напружень в системах Si-SiO2 з процесами утворення тримірних дефектів | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |