Вісники та науково-технічні збірники, журнали

Permanent URI for this communityhttps://ena.lpnu.ua/handle/ntb/12

Browse

Author: search.filters.author.Іванчук, О.Subject: search.filters.subject.апроксимація

Search Results

Now showing 1 - 2 of 2
  • Thumbnail Image
    Item
    Особливості калібрування геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на різних РЕМ
    (Видавництво Львівської політехніки, 2015) Іванчук, О.
    Наведено результати досліджень геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на чотирьох різних РЕМ у діапазоні збільшень від М = 1000х до М = 10000х. Акцентовано увагу на особливостях запису цифрових РЕМ-зображень для різних РЕМ, встановленні їх реальних фізичних розмірів, урахування яких дає можливість коректно визначати та враховувати як лінійні (масштабні) спотворення (ΔМ = ±3 %), так і нелінійні спотворення геометрії РЕМ-знімків (до ±1,5 мм або ± 15 пікселів) за розмірів зображення 12090 мм. Найефективнішим методом їх врахування є метод поліноміальної апроксимації, після якої їх залишкові значення не пере- вищують ±0,3 мм (±3 піксели). Це дає змогу отримувати просторові кількісні параметри мікроповерхонь дослідних об’єктів з високою точністю, зокрема у разі збільшення (масштабу) зображень М = 1000х: mx = my = = 0,1–0,3 мкм, mh(Z) = 1–1,5 мкм, а якщо М = 25000х – – mx = my = 0,005–0,01 мкм, mh(Z) = 0,1–0,2 мкм. Приведены результаты исследований геометрических искажений цифровых РЭМ-изображений, полученных на четырех разных РЭМ в диапазоне увеличений от М = 1000х до М = 10000х. Акцентировано внимание на особенностях записи цифровых РЭМ-изображений для разных РЭМ, определении их реальных физических размеров, учет которых дает возможность корректно определять как линейные (масштабные) искажения (ΔМ = ±3 %), так и нелинейные искажения геометрии РЭМ-снимков (до ± 1,5 мм или ± 15 пикселей) при размере зображений 12090 мм. Наиболее эффективным методом их учета является метод полиномиальной аппроксимации, после чего их остаточные значения не превышают ± 0,3 мм (± 3 пиксела). Это позволяет получать пространственные количественные параметры микроповерхностей исследуемых объектов с высокой точностью, в частности, при увеличении (масштабе) изображений М = 1000х: mx = my = 0,1–0,3 мкм, mh(Z) = 1–1,5 мкм, а при М = 25000х – mx = my = 0,005–0,01 мкм, mh(Z) = 0,1–0,2 мкм. The results of studies of geometric distortion of digital SEM images obtained in 4 different SEM magnification range from M=1000h up to M=10000h. The attention is focused on the features of digital recording SEM images for different SEM, to determine their actual physical size, which makes it possible to account defined as linear (large-scale) distortion (ΔM = ± 3 %), and nonlinear distortion geometry SEM pictures (up to ± 1,5 mm or ± 15 pixels) The image at the size of 12090 mm. The most effective method is a method of accounting polynomial approximation, after which their residual values does not exceed ± 0,3 mm (± 3 pixels). This allows for quantitative spatial parameters microsurface researched objects with high accuracy, in particular by increasing the (scale) image of M = 1000h: mx = my = = 0,1–0,3 mkm, mh(Z) = 1–1,5 mkm, аnd when М = 25000h – – mx = my = 0,005–0,01 mkm, mh(Z) = 0,1–0,2 mkm.
  • Thumbnail Image
    Item
    Дослідження геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ-106 І (Суми, Україна)
    (Видавництво Львівської політехніки, 2014) Іванчук, О.
    Наведено результати досліджень геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ-106І в діапазоні збільшень від М=1000х до М=25000х. Після врахування порівняно незначних лінійних (масштабних) спотворень (ΔМ=± 3 %) залишкові нелінійні спотворення геометрії залишаються ще суттєвими – до ± 1,5 мм (± 15 пікселів) для зображень розміром 120×90 мм. Методом поліноміальної апроксимації геометричні спотворення враховують, після чого їх залишкові величини не перевищують ± 0,3 мм (± 3 пік- сели). Це дає змогу отримувати просторові кількісні параметри мікроповерхонь дослідних об’єктів з високою точністю, зокрема, у разі збільшення (масштабу) зображень М=1000х: mx = my = 0,1–0,2 мкм, mh(Z) = 1–1,5 мкм, а при М=25000х – mx=my=0,005–0,01 мкм, mh(Z)=0,1–0,2 мкм. Приведены результаты исследований геометрических искажений цифровых РЭМ-изображений, полученных на РЭМ-106И в диапазоне увеличений от М=1000х до М=25000х. После учета относительно незначительных линейных (масштабных) искажений (ΔМ= ± 3 %) нелинейные искажения геометрии остаются еще существенными – до ± 1,5 мм (± 15 пикселей) при размере зображений 120×90 мм. Методом полиномиальной аппроксимации геометрические искажения учитывают, после чего их остаточные значения не превышают ± 0,3 мм (± 3 пиксела). Это позволяет получать пространственные количественные параметры микроповерхностей исследовательских объектов с высокой точностью, в частности, при увеличении (масштабе) изображений М=1000х: mx = my = 0,1–0,2 мкм, mh(Z) = 1–1,5 мкм, а при М=25000х – mx=my=0,005–0,01 мкм, mh(Z)=0,1–0,2 мкм. The results of these studies, geometric distortion of digital SEM images obtained are in SEM-106I increases ranging from M=1000 h to M =25000 h. After taking into account the relatively small linear (large-scale) distortions (ΔM = ± 3 %), the residual nonlinear distortion geometry are still substantial – up to ± 1,5 mm (± 15 pixels) for images of size 120×90 mm. The method of polynomial approximation of geometric distortion into account, then their residual values do not exceed ± 0,3 mm (± 3 pixels). It enables spatial parameters mikrosurface quantitative research objects with high accuracy, in particular by increasing the (scale) image of M=1000 h : mx = my = 0,1–0,2 mkm, mh(Z) = 1–1,5 mkm, аnd when М=25000 h –mx=my=0,005–0,01 mkm, mh(Z)=0,1–0,2 mkm.