Дослідження геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ-106 І (Суми, Україна)
No Thumbnail Available
Date
2014
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
Наведено результати досліджень геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ-106І в діапазоні збільшень від М=1000х до М=25000х. Після врахування порівняно незначних лінійних (масштабних) спотворень (ΔМ=± 3 %) залишкові
нелінійні спотворення геометрії залишаються ще суттєвими – до ± 1,5 мм (± 15 пікселів) для зображень розміром 120×90 мм. Методом поліноміальної апроксимації геометричні спотворення враховують, після чого їх залишкові величини не перевищують ± 0,3 мм (± 3 пік-
сели). Це дає змогу отримувати просторові кількісні параметри мікроповерхонь дослідних об’єктів з високою точністю, зокрема, у разі збільшення (масштабу)
зображень М=1000х: mx = my = 0,1–0,2 мкм, mh(Z) = 1–1,5 мкм, а при М=25000х – mx=my=0,005–0,01 мкм, mh(Z)=0,1–0,2 мкм. Приведены результаты исследований геометрических искажений цифровых РЭМ-изображений, полученных на
РЭМ-106И в диапазоне увеличений от М=1000х до М=25000х. После учета относительно незначительных линейных (масштабных) искажений (ΔМ= ± 3 %) нелинейные искажения геометрии остаются еще существенными – до ± 1,5 мм (± 15 пикселей) при размере
зображений 120×90 мм. Методом полиномиальной аппроксимации геометрические искажения учитывают, после чего их остаточные значения не превышают ± 0,3 мм (± 3 пиксела). Это позволяет получать пространственные количественные параметры микроповерхностей исследовательских объектов с высокой точностью, в частности, при увеличении (масштабе)
изображений М=1000х: mx = my = 0,1–0,2 мкм, mh(Z) = 1–1,5 мкм, а при М=25000х – mx=my=0,005–0,01 мкм, mh(Z)=0,1–0,2 мкм. The results of these studies, geometric distortion of
digital SEM images obtained are in SEM-106I increases ranging from M=1000 h to M =25000 h. After taking into account the relatively small linear (large-scale) distortions
(ΔM = ± 3 %), the residual nonlinear distortion geometry are still substantial – up to ± 1,5 mm (± 15 pixels) for images of size 120×90 mm. The method of polynomial approximation of geometric distortion into account, then their residual values do not exceed ± 0,3 mm (± 3 pixels).
It enables spatial parameters mikrosurface quantitative research objects with high accuracy, in particular by increasing the (scale) image of M=1000 h : mx = my = 0,1–0,2 mkm, mh(Z) = 1–1,5 mkm, аnd when М=25000 h –mx=my=0,005–0,01 mkm, mh(Z)=0,1–0,2 mkm.
Description
Keywords
цифрові РЕМ-зображення, тест- об’єкт, дисторсія, апроксимація
Citation
Іванчук О. Дослідження геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ-106 І (Суми, Україна) / О. Іванчук // Сучасні досягнення геодезичної науки та виробництва : збірник наукових праць Західного геодезичного товариства УТГК / Західне геодезичне товариство Українського товариства геодезії і картографії, Національний університет "Львівська політехніка" ; головний редактор І. С. Тревого. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2014. – Випуск 2 (28). – С. 74–77. – Бібліографія: 16 назв.