Особливості калібрування геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на різних РЕМ
Loading...
Date
2015
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
Наведено результати досліджень геометричних
спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на
чотирьох різних РЕМ у діапазоні збільшень від
М = 1000х до М = 10000х. Акцентовано увагу на
особливостях запису цифрових РЕМ-зображень для
різних РЕМ, встановленні їх реальних фізичних
розмірів, урахування яких дає можливість коректно
визначати та враховувати як лінійні (масштабні)
спотворення (ΔМ = ±3 %), так і нелінійні спотворення
геометрії РЕМ-знімків (до ±1,5 мм або ± 15 пікселів)
за розмірів зображення 12090 мм. Найефективнішим
методом їх врахування є метод поліноміальної апроксимації, після якої їх залишкові значення не пере-
вищують ±0,3 мм (±3 піксели). Це дає змогу отримувати просторові кількісні параметри мікроповерхонь
дослідних об’єктів з високою точністю, зокрема у разі
збільшення (масштабу) зображень М = 1000х: mx = my =
= 0,1–0,3 мкм, mh(Z) = 1–1,5 мкм, а якщо М = 25000х –
– mx = my = 0,005–0,01 мкм, mh(Z) = 0,1–0,2 мкм.
Приведены результаты исследований геометрических искажений цифровых РЭМ-изображений,
полученных на четырех разных РЭМ в диапазоне
увеличений от М = 1000х до М = 10000х. Акцентировано внимание на особенностях записи цифровых
РЭМ-изображений для разных РЭМ, определении их
реальных физических размеров, учет которых дает
возможность корректно определять как линейные
(масштабные) искажения (ΔМ = ±3 %), так и нелинейные искажения геометрии РЭМ-снимков (до ± 1,5 мм
или ± 15 пикселей) при размере зображений 12090 мм.
Наиболее эффективным методом их учета является
метод полиномиальной аппроксимации, после чего их
остаточные значения не превышают ± 0,3 мм
(± 3 пиксела). Это позволяет получать пространственные количественные параметры микроповерхностей исследуемых объектов с высокой точностью,
в частности, при увеличении (масштабе) изображений
М = 1000х: mx = my = 0,1–0,3 мкм, mh(Z) = 1–1,5 мкм,
а при М = 25000х – mx = my = 0,005–0,01 мкм,
mh(Z) = 0,1–0,2 мкм.
The results of studies of geometric distortion of
digital SEM images obtained in 4 different SEM
magnification range from M=1000h up to M=10000h. The
attention is focused on the features of digital recording
SEM images for different SEM, to determine their actual
physical size, which makes it possible to account defined
as linear (large-scale) distortion (ΔM = ± 3 %), and nonlinear
distortion geometry SEM pictures (up to ± 1,5 mm
or ± 15 pixels) The image at the size of 12090 mm. The
most effective method is a method of accounting
polynomial approximation, after which their residual
values does not exceed ± 0,3 mm (± 3 pixels). This allows
for quantitative spatial parameters microsurface researched
objects with high accuracy, in particular by
increasing the (scale) image of M = 1000h: mx = my =
= 0,1–0,3 mkm, mh(Z) = 1–1,5 mkm, аnd when М = 25000h –
– mx = my = 0,005–0,01 mkm, mh(Z) = 0,1–0,2 mkm.
Description
Keywords
тест-об’єкт, растровий електронний мікроскоп (РЕМ), геометричні спотворення цифрових РЕМ-зображень, калібрування, апроксимація
Citation
Іванчук О. Особливості калібрування геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на різних РЕМ / О. Іванчук // Сучасні досягнення геодезичної науки та виробництва : збірник наукових праць Західного геодезичного товариства УТГК / Західне геодезичне товариство Українського товариства геодезії і картографії, Національний університет "Львівська політехніка" ; головний редактор І. С. Тревого. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2015. – Випуск 1 (29). – С. 168–173. – Бібліографія: 17 назв.