Вплив товщини тонкої плівки ТіN на її електричні властивості

Loading...
Thumbnail Image

Date

2013

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Видавництво Львівської політехніки

Abstract

Description

Keywords

Citation

Вплив товщини тонкої плівки ТіN на її електричні властивості / М. М. Солован, В. В. Брус, П. Д. Мар'янчук, А. М. Кафанов // Шістнадцята щорічна відкрита науково-технічна конференція Інституту телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки з проблем електроніки та інфокомунікаційних систем : програма та тези доповідей, 2–4 квітня 2013 року, Львів / Національний університет "Львівська політехніка", Інститут телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2013. – С. 70. – Бібліографія: 1 назва.

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By