Вимірювання контакних опорів елементів інтегральних систем

Abstract

Запропоновано метод контролю омічного опору елементів інтегральних схем під час технологічного процесу їх виготовлення. Розроблено методи лінеаризації характеристик схем для їх роботи з цифровими вихідними приладами. Виготовлено експериментальні взірці автоматичного і напівавто¬матичного приладів для вимірювання контактних опорів елементів інтеграль¬них схем. A method of checking contact resistance values of the integral schemes elements in the course of the technological process of their manufacture has been suggested. A framework for the linearization of the schemes characteristics for their work with the digital exit devices has been worked out. Experimental samples of automated and semiautomated devices for ganging contact resistance of the integral schemes elements have been elaborated.