Структури кремній-на-ізоляторі для сенсорної електроніки
No Thumbnail Available
Date
2013
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
Проаналізовано сучасні методи отримання структур кремній-на-ізоляторі. Наведено результати комплексного дослідження електропровідності,
магнітоопору, п’єзоопору полікристалічного кремнію на напівпровідникових
підкладках у широкому інтервалі температур, за впливу сильних магнітних
полів і деформацій, що використано для створення сенсорів механічних і
теплових величин на їх основі. Визначено конструктивні особливості для
інтеграції різних типів сенсорів на одному кристалі під час створення
мікросистем, а також методи покращання вимірювальних характеристик
сенсорів механічних і теплових величин на основі полікремнієвих шарів у
структурах кремній-на-ізоляторі. Призначено для наукових та інженерно-технічних працівників та студентів, які навчаються за напрямом “Мікро- та наноелектроніка”, а також широкого загалу спеціалістів у галузі сенсорної електроніки та мікроелектроніки.
Description
Keywords
Citation
Дружинін А. О. Структури кремній-на-ізоляторі для сенсорної електроніки : монографія / А. О. Дружинін, І. Т. Когут, Ю. М. Ховерко. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2013. – 232 с.