Наслідування дефектами плівок термічного SiO2 дислокаційної структури підкладки
Loading...
Files
Date
2009
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”
Abstract
Description
Keywords
Citation
Логуш О. І. Наслідування дефектами плівок термічного SiO2 дислокаційної структури підкладки / О. І. Логуш // Дванадцята відкрита науково-технічна конференція професорсько-викладацького складу Інституту телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки Національного університету “Львівська політехніка” з проблем електроніки : тези доповідей, 7–9 квітня 2009 року / Національний університет “Львівська політехніка”. – Львів : Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”, 2009. – С. 42.