Наслідування дефектами плівок термічного SiO2 дислокаційної структури підкладки

Loading...
Thumbnail Image

Date

2009

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”

Abstract

Description

Keywords

Citation

Логуш О. І. Наслідування дефектами плівок термічного SiO2 дислокаційної структури підкладки / О. І. Логуш // Дванадцята відкрита науково-технічна конференція професорсько-викладацького складу Інституту телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки Національного університету “Львівська політехніка” з проблем електроніки : тези доповідей, 7–9 квітня 2009 року / Національний університет “Львівська політехніка”. – Львів : Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”, 2009. – С. 42.

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By