Модель газофазного осадження плівок функціональних шарів віс в реакторах зниженого тиску
No Thumbnail Available
Date
2000
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Національного університету «Львівська політехніка»
Abstract
Для зниження дефектності функціональних шарів структур ВІС розроблена силанова технологія низькотемпературного осадження плівок в реакторах зниженого тиску типу “Ізотрон-3”. Досліджено умови формування легованих плівок полікремнію, нітриду (оксинітриду) кремнію, фосфоро- та борофосфоросилікатного скла і дисиліцидних плівок титана на основі аморфного кремнію, які забезпечують як низьку дефектність, так і високу швидкість росту.
Description
Keywords
Citation
Новосядлий С. Модель газофазного осадження плівок функціональних шарів віс в реакторах зниженого тиску / С. Новосядлий // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2000. – № 398 : Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. – C. 35–441. – Бібліографія: 7 назв.