Модель газофазного осадження плівок функціональних шарів віс в реакторах зниженого тиску
| dc.contributor.author | Новосядлий, С. | |
| dc.date.accessioned | 2017-04-10T11:47:37Z | |
| dc.date.available | 2017-04-10T11:47:37Z | |
| dc.date.issued | 2000 | |
| dc.description.abstract | Для зниження дефектності функціональних шарів структур ВІС розроблена силанова технологія низькотемпературного осадження плівок в реакторах зниженого тиску типу “Ізотрон-3”. Досліджено умови формування легованих плівок полікремнію, нітриду (оксинітриду) кремнію, фосфоро- та борофосфоросилікатного скла і дисиліцидних плівок титана на основі аморфного кремнію, які забезпечують як низьку дефектність, так і високу швидкість росту. | uk_UA |
| dc.identifier.citation | Новосядлий С. Модель газофазного осадження плівок функціональних шарів віс в реакторах зниженого тиску / С. Новосядлий // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2000. – № 398 : Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. – C. 35–441. – Бібліографія: 7 назв. | uk_UA |
| dc.identifier.uri | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/37246 | |
| dc.language.iso | ua | uk_UA |
| dc.publisher | Видавництво Національного університету «Львівська політехніка» | uk_UA |
| dc.title | Модель газофазного осадження плівок функціональних шарів віс в реакторах зниженого тиску | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |