Хімічне травлення ферогранатових плівок

Simple item page
dc.contributor.authorЮщук, С. І.
dc.contributor.authorЮр’єв, С. О.
dc.contributor.authorНіколайчук, В. Й.
dc.contributor.authorЦіж, Б. Р.
dc.contributor.authorКостюк, П. С.
dc.date.accessioned2017-03-15T10:42:19Z
dc.date.available2017-03-15T10:42:19Z
dc.date.issued2006
dc.description.abstractДосліджено процеси хімічного травлення ферогранатових епітаксійних плівок Y3Fe5O12 і (Y, Sm, Lu,Ca)3 (Fe,Ge)5O12 в ортофосфорній кислоті в температурному інтервалі 60–175 0С. Розроблено методи формування захисних покрить і масок під час травлення з силіконового клею ПМС–200 і фоторезисту ФП–383. Показано, що на поверхні феритової епітаксійної структури за допомогою хімічного травлення можна формувати ферогранатові елементи круглої форми діаметром 0,5–3 мм з вузькими лініями феромагнітного резонансу. Processes of chemical corrosion of Y3Fe5O12 and (Y, Sm, Lu,Ca)3 (Fe,Ge)5O12 ferrogarnet films on orthophosphor acid at 60…175 0С temperature interval have been investigated. The methods of formation of protective layers and masks at corrosion from silicones ПМС–200 glue and ФП–383 photoresist have been worked out. The possibility to form 0,5…3 mm diameter ferrogarnet elements of circle shape with narrow lines of ferromagnetic resonance by chemical corrosion have been demonstrated.uk_UA
dc.identifier.citationХімічне травлення ферогранатових плівок / С. І. Ющук, С. О. Юр’єв, В. Й. Ніколайчук, Б. Р. Ціж, П. С. Костюк // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2006. – № 558 : Електроніка. – С. 75–79. – Бібліографія: 7 назв.uk_UA
dc.identifier.urihttps://ena.lpnu.ua/handle/ntb/36613
dc.language.isouauk_UA
dc.publisherВидавництво Національного університету "Львівська політехніка"uk_UA
dc.titleХімічне травлення ферогранатових плівокuk_UA
dc.title.alternativeChemical corrosion of ferrogarnet filmsuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Files

Original bundle
Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
15_75-79.pdf
Size:
240.34 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Download

Collections

Електроніка. – 2006. – №558