Simulation of temperature distribution in thick-film multilayer structures

Abstract

Сучасні товстоплівкові багатошарові структури, зокрема сенсорні пристрої часто вимагають високої робочої температури. Відомим прикладом таких систем є газові сенсори, які функціонують при температурах до 900 °C. Застосування товстоплівкової технології дозволяє отримувати нагрівачі з високими експлуатаційними параметрами. Наведено результати моделювання теплових полів для стандартних нагрівачів, які живляться постійною напругою, з використанням програм HYBTERM і PSPICE (класична дискретна модель Бюкена). The modern thick-film multiplayer structures (like sensor systems) often require the high operation temperature. The very good example of such structures are gas sensors. They operate in temperature even up to 900°C. The application of thick-film technology allow to obtain the heater systems with very good exploatation parameters. The paper presents results of temperature field simulations of the standard heaters (supplied by DC voltage) with using HYBTERM and PSPICE (classic discrete Beuken model) program.