Mathematical modelling and simulation of the mechanical component of the fully differential capacitive mems accelerometer using matlab/simulink environment

Simple item page
dc.contributor.authorHolovatyy, А.
dc.contributor.authorTeslyuk, V.
dc.contributor.authorPanchak, R.
dc.contributor.authorKoshyrets, S.
dc.date.accessioned2016-02-24T15:56:15Z
dc.date.available2016-02-24T15:56:15Z
dc.date.issued2015
dc.description.abstractРозроблено імітаційну модель механічної компоненти повністю диференційного ємнісного МЕМС акселерометра в середовищі MATLAB/Simulink. Модель дає змогу моделювати переміщення робочої маси, зміну ємностей вимірювальних конденсаторів чутливого елемента, чутливість мікродавача від прикладеного прискорення, а також проводити часовий аналіз інтегрального пристрою на системному рівні проектування. Simulation model of the mechanical component of the fully differential capacitive MEMS accelerometer has been developed using MATLAB/Simulink environment. The model allows to simulate movement of the proof mass, capacitance changes of the sense capacitors of the sensitive element, sensitivity of the sensor depending on the applied force of acceleration, and to perform the transient analysis of the integrated device at the system level of computeraided design.uk_UA
dc.identifier.citationMathematical modelling and simulation of the mechanical component of the fully differential capacitive mems accelerometer using matlab/simulink environment / А. Holovatyy, V. Teslyuk, R. Panchak, S. Koshyrets // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". Серія: Комп’ютерні системи проектування теорія і практика : збірник наукових праць. – 2015. – № 828. – С. 20–26. – Bibliography: 12 titles.uk_UA
dc.identifier.urihttps://ena.lpnu.ua/handle/ntb/31386
dc.language.isoenuk_UA
dc.publisherВидавництво Львівської політехнікиuk_UA
dc.subjectМікроелектромеханічні системи (МЕМС)uk_UA
dc.subjectповністю диференційний ємнісний МЕМС акселерометерuk_UA
dc.subjectприскоренняuk_UA
dc.subjectматематичне моделюванняuk_UA
dc.subjectімітаційна модельuk_UA
dc.subjectповедінковий аналізuk_UA
dc.subjectСАПРuk_UA
dc.subjectMATLAB/Simulinkuk_UA
dc.subjectMicroelectromechanical systems (MEMS)uk_UA
dc.subjectfully differential capacitive MEMS accelerometeruk_UA
dc.subjectaccelerationuk_UA
dc.subjectmathematical modelinguk_UA
dc.subjectsimulation modeluk_UA
dc.subjecttransient analysisuk_UA
dc.titleMathematical modelling and simulation of the mechanical component of the fully differential capacitive mems accelerometer using matlab/simulink environmentuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Files

Original bundle
Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
05-20-26.pdf
Size:
199.91 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Download
License bundle
Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
1.71 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description:
Download

Collections

Комп'ютерні системи проектування теорія і практика. – 2015. – №828