Діагностика поверхневої дефектності напівпровідникових пластин
No Thumbnail Available
Date
2001
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Національного університету «Львівська політехніка»
Abstract
Запропоновано автоматизований метод та конструкцію пристрою для оптичного контролю поверхневої дефектності базових шарів ІС. The automation technique and construction of the device for IC’s basic layer surface defectivity optical control are proposed at present paper.
Description
Keywords
Citation
Діагностика поверхневої дефектності напівпровідникових пластин / Володимир Павлиш, Ігор Данчишин, Роман Корж, Дмитро Вишняков // Вісник Державного університету «Львівська політехніка». – 2001. – № 428 : Радіоелектроніка та телекомунікації. – С. 228–233. – Бібліографія: 7 назв.