Діагностика поверхневої дефектності напівпровідникових пластин

Loading...
Thumbnail Image

Date

2001

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Видавництво Національного університету «Львівська політехніка»

Abstract

Запропоновано автоматизований метод та конструкцію пристрою для оптичного контролю поверхневої дефектності базових шарів ІС. The automation technique and construction of the device for IC’s basic layer surface defectivity optical control are proposed at present paper.

Description

Keywords

Citation

Діагностика поверхневої дефектності напівпровідникових пластин / Володимир Павлиш, Ігор Данчишин, Роман Корж, Дмитро Вишняков // Вісник Державного університету «Львівська політехніка». – 2001. – № 428 : Радіоелектроніка та телекомунікації. – С. 228–233. – Бібліографія: 7 назв.

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By