Діагностика поверхневої дефектності напівпровідникових пластин
| dc.contributor.author | Павлиш, Володимир | |
| dc.contributor.author | Данчишин, Ігор | |
| dc.contributor.author | Корж, Роман | |
| dc.contributor.author | Вишняков, Дмитро | |
| dc.date.accessioned | 2017-05-15T13:01:09Z | |
| dc.date.available | 2017-05-15T13:01:09Z | |
| dc.date.issued | 2001 | |
| dc.description.abstract | Запропоновано автоматизований метод та конструкцію пристрою для оптичного контролю поверхневої дефектності базових шарів ІС. The automation technique and construction of the device for IC’s basic layer surface defectivity optical control are proposed at present paper. | uk_UA |
| dc.identifier.citation | Діагностика поверхневої дефектності напівпровідникових пластин / Володимир Павлиш, Ігор Данчишин, Роман Корж, Дмитро Вишняков // Вісник Державного університету «Львівська політехніка». – 2001. – № 428 : Радіоелектроніка та телекомунікації. – С. 228–233. – Бібліографія: 7 назв. | uk_UA |
| dc.identifier.uri | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/38055 | |
| dc.language.iso | ua | uk_UA |
| dc.publisher | Видавництво Національного університету «Львівська політехніка» | uk_UA |
| dc.title | Діагностика поверхневої дефектності напівпровідникових пластин | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |