Оптимізація товщини розпилених плівок для комірки пеннінга
No Thumbnail Available
Date
2004
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Національного університету «Львівська політехніка»
Abstract
Подано результати моделювання напилення тонких плівок в комірці Пеннінга з секційним анодом, визначено вплив геометрії пристрою розпилення на рівномірність плівок по товщині. In this work give the optimization of sputtered film thickness distribution on planar surfaces results for Penning’s cell.
Description
Keywords
Citation
Шандра З. А.Оптимізація товщини розпилених плівок для комірки пеннінга / З. А. Шандра // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2004. – № 512 : Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – С. 82–86. – Бібліографія: 6 назв.