Оптимізація товщини розпилених плівок для комірки пеннінга

dc.contributor.author	Шандра, З. А.
dc.date.accessioned	2016-01-28T12:04:50Z
dc.date.available	2016-01-28T12:04:50Z
dc.date.issued	2004
dc.description.abstract	Подано результати моделювання напилення тонких плівок в комірці Пеннінга з секційним анодом, визначено вплив геометрії пристрою розпилення на рівномірність плівок по товщині. In this work give the optimization of sputtered film thickness distribution on planar surfaces results for Penning’s cell.	uk_UA
dc.identifier.citation	Шандра З. А.Оптимізація товщини розпилених плівок для комірки пеннінга / З. А. Шандра // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2004. – № 512 : Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – С. 82–86. – Бібліографія: 6 назв.	uk_UA
dc.identifier.uri	https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/31152
dc.language.iso	ua	uk_UA
dc.publisher	Видавництво Національного університету «Львівська політехніка»	uk_UA
dc.title	Оптимізація товщини розпилених плівок для комірки пеннінга	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA

Files

Now showing 1 - 1 of 1