Структура та електричні властивості плівок ZnTe, виготовлених методом імпульсного лазерного напилення
No Thumbnail Available
Date
2006
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Національного університету "Львівська політехніка"
Abstract
Наведено основні результати вимірювань структурних та електричних властивостей тонких плівок ZnTe, отриманих методом Імпульсного Лазерного Напилення (ІЛН) при різних температурах осадження. Встановлено, що метод ІЛН дає змогу отримувати кристалічні плівки ZnTe при зниженій температурі підкладки. Досліджено вплив параметрів вирощування на структуру та електричні властивості вирощених плівок та визначено оптимальні умови напилення. In this paper the main results of measurements of crystalline and electrical properties of
ZnTe thin films prepared by Pulsed Laser Deposition (PLD) method at various substrate temperature are presented. We established that (PLD) method allows to grow the ZnTe thin films with good crystallinity at significantly reduced substrate temperature. Study of the effect of growth parameters on the structural quality and electrical properties of grown films were carried out. Optimal deposition conditions were determined.
Description
Keywords
Citation
Котлярчук Б. Структура та електричні властивості плівок ZnTe, виготовлених методом імпульсного лазерного напилення / Б. Котлярчук, В. Савчук // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2006. – № 558 : Електроніка. – С. 10–13. – Бібліографія: 12 назв.