Визначення впливу паразитних коливань на конструктивні параметри МЕМС гіроскопів

Abstract

Розглянуто проблеми, які виникають в конструкціях MEMС гіроскопів внаслідок дії паразитних коливань робочого органа гіроскопа, наведено способи розрахунків параметрів коливань для їх врахування при проектуванні параметрів конструкції та шляхи зменшення амплітуд. Problems which arise up in constructions of the MEMS gyroscopes as a result of action of vermin vibrations of working gyroscope are considered, the methods of calculations of parameters of vibrations for their account at planning of parameters of construction and ways of diminishment of amplitudes are resulted.