Метод реконструкції поверхні з інтерферограми білого світла на основі перетворення Гільберта

Abstract

Опрацьовано теоретичні основи інтерферометрії білого світла та проаналізовано математичну модель інтерферограми. Розроблено метод визначення топології поверхні із фази сигналу інтерферограми за допомогою його квадратурної компоненти, одержаної на основі перетворення Гільберта. Досліджено роботу запропонованого алгоритму на похилій та сферичній поверхнях, а також встановлено та проаналізовано основні джерела та причини виникнення похибок під час їх реконструкції. In this paper theoretical fundamentals of white light interferometry and mathematical model of interferogramm were analyzed. The method of topography reconstruction from phase of white-light interferogramm based on amplitude demodulation using Hilbert transform was developed. The verification of introduced algorithm on tilted and sphere surface is presented and the main sources of reconstruction errors were analyzed.