Проектування мікроелектромеханічних структур для вбудованих систем з використанням сучасних САПР

Abstract

Описані кілька підходів до моделювання та симуляції мікроелектромеханічних структур, використовуючи сучасні САПР та мову VHDL-AMS. This paper present few approaches to modeling and simulation of microelectromechanical structures using CFDRC software and VHDL-AMS language.