New thick film materials for piezoresistive ceramic pressure sensor

Abstract

В даній статті представлено конструкцію керамічного сенсора тиску, який базується на п'єзорезистивному ефекті в товстоплівкових резисторах, виготовлених з паст з високим значенням розмірного коефіцієнта. Для резисторів, використаних в даному сенсорі, розроблено товстонлівкові пасти, які базуються на діоксиді рутенію і свинцево-боро-силікатному склі. Представлено характеристики і параметри сенсорів тиску.The construction of ceramic pressure sensor based on piezoresistive effect of thick film resistors made of paste with high Gauge Factor is presented. Thick film paste based on ruthenium dioxide and lead-boro-silicate glass has been elaborated for resistors applied in the sensor. The characteristics of the resistors as well as the parameters of the pressure sensor are also presented.