Приладно-технологічне моделювання нанорозмірних тривимірних КНІ-структур
No Thumbnail Available
Files
Date
2011
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
Проведено комплексні дослідження, спрямовані на створення тензорезистивних сенсорів тиску на основі ниткоподібних кристалів кремпію, працездатних в умовах кріогенних та високих температур. В основу конструкції сенсора покладено систему мембрана – шток – балка з універсальним тензомодулем. Наведено вихідні характеристики розроблених сенсорів. Complex studies aimed at the creating of piezoresistive pressure sensors on the basis of silicon whiskers operating at cryogenic and high temperatures were carried out. The sensor’s design is based on the diaphragm – rod – beam system with the universal strain unit. Output characteristics of the developed sensors are presented.
Description
Keywords
тензорезистивні сенсори тиску, ниткоподібні кристали, piezoresistive pressure sensore sensors, whiskers
Citation
Приладно-технологічне моделювання нанорозмірних тривимірних КНІ-структур / А. О. Дружинін, І. Т. Когут, В. І. Голота, В. В. Довгий // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2011. – № 708 : Електроніка. – С. 55–64. – Бібліографія: 10 назв.