Приладно-технологічне моделювання нанорозмірних тривимірних КНІ-структур

dc.contributor.authorДружинін, А. О.
dc.contributor.authorКогут, І. Т.
dc.contributor.authorГолота, В. І.
dc.contributor.authorДовгий, В. В.
dc.date.accessioned2012-02-23T14:24:32Z
dc.date.available2012-02-23T14:24:32Z
dc.date.issued2011
dc.description.abstractПроведено комплексні дослідження, спрямовані на створення тензорезистивних сенсорів тиску на основі ниткоподібних кристалів кремпію, працездатних в умовах кріогенних та високих температур. В основу конструкції сенсора покладено систему мембрана – шток – балка з універсальним тензомодулем. Наведено вихідні характеристики розроблених сенсорів. Complex studies aimed at the creating of piezoresistive pressure sensors on the basis of silicon whiskers operating at cryogenic and high temperatures were carried out. The sensor’s design is based on the diaphragm – rod – beam system with the universal strain unit. Output characteristics of the developed sensors are presented.uk_UA
dc.identifier.citationПриладно-технологічне моделювання нанорозмірних тривимірних КНІ-структур / А. О. Дружинін, І. Т. Когут, В. І. Голота, В. В. Довгий // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2011. – № 708 : Електроніка. – С. 55–64. – Бібліографія: 10 назв.uk_UA
dc.identifier.urihttps://ena.lpnu.ua/handle/ntb/11539
dc.language.isouauk_UA
dc.publisherВидавництво Львівської політехнікиuk_UA
dc.subjectтензорезистивні сенсори тискуuk_UA
dc.subjectниткоподібні кристалиuk_UA
dc.subjectpiezoresistive pressure sensore sensorsuk_UA
dc.subjectwhiskersuk_UA
dc.titleПриладно-технологічне моделювання нанорозмірних тривимірних КНІ-структурuk_UA
dc.title.alternativeInstrument technological design of nanoscaled three-dimensijnal soi-structuresuk_UA
dc.typeArticleuk_UA

Files

Original bundle
Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
8.pdf
Size:
1.16 MB
Format:
Adobe Portable Document Format