Аналіз кореляційних залежностей між механічними і електричними параметрами мікровбудованих систем

Abstract

Наведено основні підходи щодо проектування мікроелектромеханічних актюаторів; рівняння для механічної та електричної моделей мікроактюаторів. Проведено дослідження кореляційних залежностей між конструктивними параметрами мікрорезонатора та його вихідними характеристиками. Як результат подано матрицю коефіцієнтів кореляції та надано рекомендації щодо проектування мікрорезонаторів.In this paper main aspects of microelectromechanical actuators design are presented. Equations for mechanical and electrical model are carried out Correlation dependences of mechanical and electrical parameters are investigated. As result matrix of correlation is figure out and recommendations for successful design are given.