Аналіз кореляційних залежностей між механічними і електричними параметрами мікровбудованих систем

Simple item page
dc.citation.epage152
dc.citation.issue534 : Радіоелектроніка та телекомунікації
dc.citation.journalTitleВісник Національного університету “Львівська політехніка”
dc.citation.spage147
dc.contributor.affiliationНаціональний університет “Львівська політехніка”
dc.contributor.authorЛобур, М. В.
dc.contributor.authorСвірідова, Т. В.
dc.contributor.authorТеслюк, В. М.
dc.coverage.placenameЛьвів
dc.coverage.placenameLviv
dc.date.accessioned2020-11-16T12:04:24Z
dc.date.available2020-11-16T12:04:24Z
dc.date.created2005-03-01
dc.date.issued2005-03-01
dc.description.abstractНаведено основні підходи щодо проектування мікроелектромеханічних актюаторів; рівняння для механічної та електричної моделей мікроактюаторів. Проведено дослідження кореляційних залежностей між конструктивними параметрами мікрорезонатора та його вихідними характеристиками. Як результат подано матрицю коефіцієнтів кореляції та надано рекомендації щодо проектування мікрорезонаторів.
dc.description.abstractIn this paper main aspects of microelectromechanical actuators design are presented. Equations for mechanical and electrical model are carried out Correlation dependences of mechanical and electrical parameters are investigated. As result matrix of correlation is figure out and recommendations for successful design are given.
dc.format.extent147-152
dc.format.pages6
dc.identifier.citationЛобур М. В. Аналіз кореляційних залежностей між механічними і електричними параметрами мікровбудованих систем / М. В. Лобур, Т. В. Свірідова, В. М. Теслюк // Вісник Національного університету “Львівська політехніка”. — Львів : Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”, 2005. — № 534 : Радіоелектроніка та телекомунікації. — С. 147–152. — (Математичне моделювання та комп’ютерні технології).
dc.identifier.citationenLobur M. V. Analiz koreliatsiinykh zalezhnostei mizh mekhanichnymy i elektrychnymy parametramy mikrovbudovanykh system / M. V. Lobur, T. V. Sviridova, V. M. Tesliuk // Visnyk Natsionalnoho universytetu "Lvivska politekhnika". — Lviv : Vydavnytstvo Natsionalnoho universytetu "Lvivska politekhnika", 2005. — No 534 : Radioelektronika ta telekomunikatsii. — P. 147–152. — (Matematychne modeliuvannia ta kompiuterni tekhnolohii).
dc.identifier.urihttps://ena.lpnu.ua/handle/ntb/55218
dc.language.isouk
dc.publisherВидавництво Національного університету “Львівська політехніка”
dc.relation.ispartofВісник Національного університету “Львівська політехніка”, 534 : Радіоелектроніка та телекомунікації, 2005
dc.relation.references1. www.ansys.com.
dc.relation.references2. N. Debt, S.V. Iyer, Т. Mukherjee, R.D. Blanton “MEMS Resonators Synthesis for Defect Reduction”, Journal of Modelling and Simulation of Microsystems. - Vol. 2. - No. 1. - P. 11- 20, 2001.
dc.relation.references3. Km Wang, Clark T. - C. Nguyen “High-order medium frequency micromechanical electronics filters”, IEEE J. of Microelectromechanical Systems. - Vol. 8 - No. 4 - Dec. 1998 - P. 534- 557.
dc.relation.references4. L. Lin, R.T. Howe, A.P.Pisano “Micromechanical filters for signal processing”, IEEE J. of Microelectromechanical Systems. - Vol. 7. - No. 3 - Sept. 1998 - P. 286-294.
dc.relation.references5. http://www.mems.ru.
dc.relation.references6. M. Lobur, A. Napieralski, T. Sviridova “Application of CFDRC software for modeling of chosen microstructures” //Modem problems of radio engineering, telecommunications and computer science: Proceeding of the International Conference TCSET’2002, Lviv. - 2002. - P. 172-175.
dc.relation.references7. http://www.stdmems.com.
dc.relation.references8. T.B. Gabrielson, “Mechanical-thermal noise in miromachenid acoustic md vibration sensors”, IEEE Trans. On Electron. Dev. - 1993. - Vol 40. - P. 903-909.
dc.relation.references9. K.-F. Bohringer, B.R. Donald, and N.C. MacDonald. Programmable vector fields for distributed manipulation, with applications to MEMS actuator arrays md vibratory parts feeders. Int. Journal of Robotics Research, Feb. 1999.
dc.relation.references10. K.-F. Bohringer, B.R. Donald, N.C. MacDonald, G. T.A. Kovacs and J.W. Suh. Computational methods for design and control of MEMS micromanipulator arrays. IEEE Computer Science and Engineering, pages 17-29, January, March 1997.
dc.relation.references11. H. Fujita. Group work of microactuators. In International Advanced Robot Program Work-shop on Micromachine Technologies and Systems, pages 24-31, Tokyo, Japan, Oct. 1993.
dc.relation.references12. T. Furuhata, T. Hirano, and H. Fujita. Arraydriven ultrasonic microactuators. In Transducers Digest Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators, pages 1056-1059, Montreux, France, June 1991.
dc.relation.references13. H. Nakazawa, Y. Watanabe, and O. Morita. The two-dimensional micro conveyor: Principles and fabrication process of the actuator. In Transduc-ers Digest Int. Conf. on Solid- State Sensors and Actuators, volume 1, pages 33-36, Chicago.
dc.relation.referencesen1. www.ansys.com.
dc.relation.referencesen2. N. Debt, S.V. Iyer, T. Mukherjee, R.D. Blanton "MEMS Resonators Synthesis for Defect Reduction", Journal of Modelling and Simulation of Microsystems, Vol. 2, No. 1, P. 11- 20, 2001.
dc.relation.referencesen3. Km Wang, Clark T, C. Nguyen "High-order medium frequency micromechanical electronics filters", IEEE J. of Microelectromechanical Systems, Vol. 8 - No. 4 - Dec. 1998 - P. 534- 557.
dc.relation.referencesen4. L. Lin, R.T. Howe, A.P.Pisano "Micromechanical filters for signal processing", IEEE J. of Microelectromechanical Systems, Vol. 7, No. 3 - Sept. 1998 - P. 286-294.
dc.relation.referencesen5. http://www.mems.ru.
dc.relation.referencesen6. M. Lobur, A. Napieralski, T. Sviridova "Application of CFDRC software for modeling of chosen microstructures" //Modem problems of radio engineering, telecommunications and computer science: Proceeding of the International Conference TCSET’2002, Lviv, 2002, P. 172-175.
dc.relation.referencesen7. http://www.stdmems.com.
dc.relation.referencesen8. T.B. Gabrielson, "Mechanical-thermal noise in miromachenid acoustic md vibration sensors", IEEE Trans. On Electron. Dev, 1993, Vol 40, P. 903-909.
dc.relation.referencesen9. K.-F. Bohringer, B.R. Donald, and N.C. MacDonald. Programmable vector fields for distributed manipulation, with applications to MEMS actuator arrays md vibratory parts feeders. Int. Journal of Robotics Research, Feb. 1999.
dc.relation.referencesen10. K.-F. Bohringer, B.R. Donald, N.C. MacDonald, G. T.A. Kovacs and J.W. Suh. Computational methods for design and control of MEMS micromanipulator arrays. IEEE Computer Science and Engineering, pages 17-29, January, March 1997.
dc.relation.referencesen11. H. Fujita. Group work of microactuators. In International Advanced Robot Program Work-shop on Micromachine Technologies and Systems, pages 24-31, Tokyo, Japan, Oct. 1993.
dc.relation.referencesen12. T. Furuhata, T. Hirano, and H. Fujita. Arraydriven ultrasonic microactuators. In Transducers Digest Int. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators, pages 1056-1059, Montreux, France, June 1991.
dc.relation.referencesen13. H. Nakazawa, Y. Watanabe, and O. Morita. The two-dimensional micro conveyor: Principles and fabrication process of the actuator. In Transduc-ers Digest Int. Conf. on Solid- State Sensors and Actuators, volume 1, pages 33-36, Chicago.
dc.relation.urihttp://www.mems.ru
dc.relation.urihttp://www.stdmems.com
dc.rights.holder© Національний університет “Львівська політехніка”, 2005
dc.rights.holder© Лобур М. В., Свірідова Т. В., Теслюк В. М., 2005
dc.subject.udc621.3.049
dc.titleАналіз кореляційних залежностей між механічними і електричними параметрами мікровбудованих систем
dc.typeArticle

Files

Original bundle

Now showing 1 - 2 of 2
Thumbnail Image
Name:
2005n534_Lobur_M_V-Analiz_koreliatsiinykh_147-152.pdf
Size:
456.46 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Download
Thumbnail Image
Name:
2005n534_Lobur_M_V-Analiz_koreliatsiinykh_147-152__COVER.png
Size:
516.31 KB
Format:
Portable Network Graphics
Download

License bundle

Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
2.99 KB
Format:
Plain Text
Description:
Download

Collections

Радіоелектроніка та телекомунікації. – 2005. – №534