Підходи до проектування та моделювання мікроактуаторів з використанням САПР ANSYS та CFD ACE +

No Thumbnail Available

Date

2003

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Видавництво Національного університету «Львівська політехніка»

Abstract

Розглянуті підходи щодо проектування МЕМС пристроїв, наведені приклади таких пристроїв та результати моделювання у системах ANSYS та CFD ACE +. This paper present overview of design and simulation methods of MEMS devices, examples of devices are presented, results of simulations are carried out using ANSYS and CFD ACE + software.

Description

Keywords

Citation

Свірідова Т. Підходи до проектування та моделювання мікроактуаторів з використанням САПР ANSYS та CFD ACE + / Т. Свірідова // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2003. – № 487 : Електроенергетичні та електромеханічні системи. – С. 208–211.