Microsystem for 2-D magnetic-field measurement

No Thumbnail Available

Date

2002

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Видавництво Національного університету "Львівська політехніка"

Abstract

A new silicon microsystem for simultaneous and independent measurement of the in-plane Bx and By components of the magnetic field vector B has been designed, fabricated and tested. It consists of two functionally integrated triple parallel-field Hall sensors with mutually perpendicular orientation. The obtained characteristics of this 2-D mag-netometer are very promising

Description

Keywords

parallel-field Hall microsensor, microsystem for 2-D measurement of magnetic field

Citation

Roumenin C. Microsystem for 2-D magnetic-field measurement / C. Roumenin, K. Dimitrov // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2002. – № 458 : Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – С. 7–12. – Bibliography: 9 titles.