Щодо можливості визначення оптичних параметрів тонких плівок методом еліпсометрії та оцінка їх кореляції

Abstract

Встановлено кореляцію між показником заломлення плівки, її товщиною та коефіцієнтом поглинання підкладки для структури “прозора плівка на поглинальній підкладці” для довжини хвилі 632,8 нм. Проаналізовано кути падіння для меж поділу середовищ повітря–плівка та плівка–підкладка, за яких спектри відбиття в рполяризації не залежать від товщини плівки. Запропоновано новий підхід до визначення показника заломлення плівки з еліпсометричних вимірювань трьох зразків з різною товщиною плівки.Correlation between film refraction index and thickness as well as substrate absorption coefficient for the structure “transparent film on absorbing substrate” at wavelength 632,8 nm are determined. The analysis of incidence angle for interfaces air–film and film–substrate, when reflection spectra in p-polarization is independent of film thickness, is carried out. A new approach to film refraction index determination is proposed from ellipsometric measurements of three samples with different film thicknesses.