Щодо можливості визначення оптичних параметрів тонких плівок методом еліпсометрії та оцінка їх кореляції

Simple item page
dc.citation.epage164
dc.citation.issue532 : Електроніка
dc.citation.journalTitleВісник Національного університету “Львівська політехніка”
dc.citation.spage160
dc.contributor.affiliationНаціональний університет “Львівська політехніка”
dc.contributor.authorДанилов, А. Б.
dc.contributor.authorDanylov, A. B.
dc.coverage.placenameЛьвів
dc.coverage.placenameLviv
dc.date.accessioned2020-03-20T07:36:30Z
dc.date.available2020-03-20T07:36:30Z
dc.date.created2005-03-01
dc.date.issued2005-03-01
dc.description.abstractВстановлено кореляцію між показником заломлення плівки, її товщиною та коефіцієнтом поглинання підкладки для структури “прозора плівка на поглинальній підкладці” для довжини хвилі 632,8 нм. Проаналізовано кути падіння для меж поділу середовищ повітря–плівка та плівка–підкладка, за яких спектри відбиття в рполяризації не залежать від товщини плівки. Запропоновано новий підхід до визначення показника заломлення плівки з еліпсометричних вимірювань трьох зразків з різною товщиною плівки.
dc.description.abstractCorrelation between film refraction index and thickness as well as substrate absorption coefficient for the structure “transparent film on absorbing substrate” at wavelength 632,8 nm are determined. The analysis of incidence angle for interfaces air–film and film–substrate, when reflection spectra in p-polarization is independent of film thickness, is carried out. A new approach to film refraction index determination is proposed from ellipsometric measurements of three samples with different film thicknesses.
dc.format.extent160-164
dc.format.pages5
dc.identifier.citationДанилов А. Б. Щодо можливості визначення оптичних параметрів тонких плівок методом еліпсометрії та оцінка їх кореляції / А. Б. Данилов // Вісник Національного університету “Львівська політехніка”. — Львів : Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”, 2005. — № 532 : Електроніка. — С. 160–164.
dc.identifier.citationenDanylov A. B. On the possibility of thin film optical parameter determination by ellipsometry method and parameter correlation evaluation / A. B. Danylov // Visnyk Natsionalnoho universytetu "Lvivska politekhnika". — Lviv : Vydavnytstvo Natsionalnoho universytetu "Lvivska politekhnika", 2005. — No 532 : Elektronika. — P. 160–164.
dc.identifier.urihttps://ena.lpnu.ua/handle/ntb/47512
dc.language.isouk
dc.publisherВидавництво Національного університету “Львівська політехніка”
dc.relation.ispartofВісник Національного університету “Львівська політехніка”, 532 : Електроніка, 2005
dc.relation.references1. Аззам Р., Башшара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. – М., 1981.
dc.relation.references2. Горшков М.М.. Эллипсометрия. – М., 1974.
dc.relation.references3. Пшеницын В.И., Абаев М.И., Лызлов Н.Ю. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях. – Л., 1986.
dc.relation.references4. Holmes D.A. // Appl. Opt. – 1967. – V.6, № 1. – P. 168–169.
dc.relation.references5. Беляева А.И., Галуза А.А., Гребенник Т.Г., Юрьев В.П. // Оптика и спектроскопия. –1999. – Т.87, № 6. – С. 1041–1044.
dc.relation.references6. Гордиенко В.М., Савельев А.Б., Шашков А.А. // Вест. Московского ун-та. Серия 3. Физика. Астрономия. – 2000. – № 4. – С. 41–44.
dc.relation.references7. Кособуцький П.С., Данилов А.Б., Прокопчук О.Л. // Вісн. ДУ “Львівська політехніка”. Електроніка. – 2000. – №397. –С. 66–70.
dc.relation.referencesen1. Azzam R., Bashshara N. Ellipsometriia i poliarizovannyi svet, M., 1981.
dc.relation.referencesen2. Horshkov M.M.. Ellipsometriia, M., 1974.
dc.relation.referencesen3. Pshenitsyn V.I., Abaev M.I., Lyzlov N.Iu. Ellipsometriia v fiziko-khimicheskikh issledovaniiakh, L., 1986.
dc.relation.referencesen4. Holmes D.A., Appl. Opt, 1967, V.6, No 1, P. 168–169.
dc.relation.referencesen5. Beliaeva A.I., Haluza A.A., Hrebennik T.H., Iurev V.P., Optika i spektroskopiia. –1999, V.87, No 6, P. 1041–1044.
dc.relation.referencesen6. Hordienko V.M., Savelev A.B., Shashkov A.A., Vest. Moskovskoho un-ta. Seriia 3. Fizika. Astronomiia, 2000, No 4, P. 41–44.
dc.relation.referencesen7. Kosobutskyi P.S., Danylov A.B., Prokopchuk O.L., Visn. DU "Lvivska politekhnika". Elektronika, 2000, No 397. –P. 66–70.
dc.rights.holder© Національний університет “Львівська політехніка”, 2005
dc.rights.holder© Данилов А. Б., 2005
dc.subject.udc535.32
dc.titleЩодо можливості визначення оптичних параметрів тонких плівок методом еліпсометрії та оцінка їх кореляції
dc.title.alternativeOn the possibility of thin film optical parameter determination by ellipsometry method and parameter correlation evaluation
dc.typeArticle

Files

License bundle
Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
2.96 KB
Format:
Plain Text
Description:
Download

Collections

Електроніка. – 2005. – №532