Щодо можливості визначення оптичних параметрів тонких плівок методом еліпсометрії та оцінка їх кореляції
| dc.citation.epage | 164 | |
| dc.citation.issue | 532 : Електроніка | |
| dc.citation.journalTitle | Вісник Національного університету “Львівська політехніка” | |
| dc.citation.spage | 160 | |
| dc.contributor.affiliation | Національний університет “Львівська політехніка” | |
| dc.contributor.author | Данилов, А. Б. | |
| dc.contributor.author | Danylov, A. B. | |
| dc.coverage.placename | Львів | |
| dc.coverage.placename | Lviv | |
| dc.date.accessioned | 2020-03-20T07:36:30Z | |
| dc.date.available | 2020-03-20T07:36:30Z | |
| dc.date.created | 2005-03-01 | |
| dc.date.issued | 2005-03-01 | |
| dc.description.abstract | Встановлено кореляцію між показником заломлення плівки, її товщиною та коефіцієнтом поглинання підкладки для структури “прозора плівка на поглинальній підкладці” для довжини хвилі 632,8 нм. Проаналізовано кути падіння для меж поділу середовищ повітря–плівка та плівка–підкладка, за яких спектри відбиття в рполяризації не залежать від товщини плівки. Запропоновано новий підхід до визначення показника заломлення плівки з еліпсометричних вимірювань трьох зразків з різною товщиною плівки. | |
| dc.description.abstract | Correlation between film refraction index and thickness as well as substrate absorption coefficient for the structure “transparent film on absorbing substrate” at wavelength 632,8 nm are determined. The analysis of incidence angle for interfaces air–film and film–substrate, when reflection spectra in p-polarization is independent of film thickness, is carried out. A new approach to film refraction index determination is proposed from ellipsometric measurements of three samples with different film thicknesses. | |
| dc.format.extent | 160-164 | |
| dc.format.pages | 5 | |
| dc.identifier.citation | Данилов А. Б. Щодо можливості визначення оптичних параметрів тонких плівок методом еліпсометрії та оцінка їх кореляції / А. Б. Данилов // Вісник Національного університету “Львівська політехніка”. — Львів : Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”, 2005. — № 532 : Електроніка. — С. 160–164. | |
| dc.identifier.citationen | Danylov A. B. On the possibility of thin film optical parameter determination by ellipsometry method and parameter correlation evaluation / A. B. Danylov // Visnyk Natsionalnoho universytetu "Lvivska politekhnika". — Lviv : Vydavnytstvo Natsionalnoho universytetu "Lvivska politekhnika", 2005. — No 532 : Elektronika. — P. 160–164. | |
| dc.identifier.uri | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/47512 | |
| dc.language.iso | uk | |
| dc.publisher | Видавництво Національного університету “Львівська політехніка” | |
| dc.relation.ispartof | Вісник Національного університету “Львівська політехніка”, 532 : Електроніка, 2005 | |
| dc.relation.references | 1. Аззам Р., Башшара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. – М., 1981. | |
| dc.relation.references | 2. Горшков М.М.. Эллипсометрия. – М., 1974. | |
| dc.relation.references | 3. Пшеницын В.И., Абаев М.И., Лызлов Н.Ю. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях. – Л., 1986. | |
| dc.relation.references | 4. Holmes D.A. // Appl. Opt. – 1967. – V.6, № 1. – P. 168–169. | |
| dc.relation.references | 5. Беляева А.И., Галуза А.А., Гребенник Т.Г., Юрьев В.П. // Оптика и спектроскопия. –1999. – Т.87, № 6. – С. 1041–1044. | |
| dc.relation.references | 6. Гордиенко В.М., Савельев А.Б., Шашков А.А. // Вест. Московского ун-та. Серия 3. Физика. Астрономия. – 2000. – № 4. – С. 41–44. | |
| dc.relation.references | 7. Кособуцький П.С., Данилов А.Б., Прокопчук О.Л. // Вісн. ДУ “Львівська політехніка”. Електроніка. – 2000. – №397. –С. 66–70. | |
| dc.relation.referencesen | 1. Azzam R., Bashshara N. Ellipsometriia i poliarizovannyi svet, M., 1981. | |
| dc.relation.referencesen | 2. Horshkov M.M.. Ellipsometriia, M., 1974. | |
| dc.relation.referencesen | 3. Pshenitsyn V.I., Abaev M.I., Lyzlov N.Iu. Ellipsometriia v fiziko-khimicheskikh issledovaniiakh, L., 1986. | |
| dc.relation.referencesen | 4. Holmes D.A., Appl. Opt, 1967, V.6, No 1, P. 168–169. | |
| dc.relation.referencesen | 5. Beliaeva A.I., Haluza A.A., Hrebennik T.H., Iurev V.P., Optika i spektroskopiia. –1999, V.87, No 6, P. 1041–1044. | |
| dc.relation.referencesen | 6. Hordienko V.M., Savelev A.B., Shashkov A.A., Vest. Moskovskoho un-ta. Seriia 3. Fizika. Astronomiia, 2000, No 4, P. 41–44. | |
| dc.relation.referencesen | 7. Kosobutskyi P.S., Danylov A.B., Prokopchuk O.L., Visn. DU "Lvivska politekhnika". Elektronika, 2000, No 397. –P. 66–70. | |
| dc.rights.holder | © Національний університет “Львівська політехніка”, 2005 | |
| dc.rights.holder | © Данилов А. Б., 2005 | |
| dc.subject.udc | 535.32 | |
| dc.title | Щодо можливості визначення оптичних параметрів тонких плівок методом еліпсометрії та оцінка їх кореляції | |
| dc.title.alternative | On the possibility of thin film optical parameter determination by ellipsometry method and parameter correlation evaluation | |
| dc.type | Article |
Files
License bundle
1 - 1 of 1