Муаровий метод контролю растрів скануючого оптичного стереомікроскопа на базі ЕПТ

Abstract

Розглянуто метод візуального контролю геометричних спотворень растрів на ЕПТ, узгоджений з вимогами стандартів. Метод базується на використанні комбінаційних смуг при оптичному спряженні досліджуваного растра з еталонним. Показано, що при цьому можуть бути оперативно проконтрольовані спотворення порядку десятих часток відсотка по всьому робочому полю одночасно. The method of CRT raster geometric distortions visual control is discussed in this paper. This method is conjugated with standard’s demands. The method is based on using of combinations strips at optical conjugation of raster under investigation with reference one. It is shown that distortions of tenth’s parts percents order on the raster can be controlled at once.