Математична модель сенсора ємнісного типу

Abstract

Запропоновано чисельну математичну модель для визначення деформацій та напружень у сенсорі ємнісного типу. Для розв’язку моделі використано метод скінченних елементів та наведено результати моделювання цього пристрою. In this paper numerical model for calculations of strain stress deformations of capacity sensor is presented. Finite element method was used for solving and results of simulations are carried out.