Модель перерозподілу домішок у структурі “кремній-ДСС”

Loading...
Thumbnail Image

Date

2000

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Видавництво Національного університету «Львівська політехніка»

Abstract

Запропоновано математичну модель для аналізу перерозподілу домішок у структурі “кремній - домішково-силікатне скло”, яка містить модель росту плівки ДСС і дозволяє підвищити точність моделювання дифузійних процесів при аналізі першої стадії дифузії та дослідити основні фізичні процеси на межі розділу двох середовищ ДСС-кремній. Дана модель реалізована в програмі ПроМІС-Т.

Description

Keywords

Citation

Теслюк В. М. Модель перерозподілу домішок у структурі “кремній-ДСС” / В. М. Теслюк, О. Р. Корбецький, П. П. Гранат // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2000. – № 398 : Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. – C. 49–57. – Бібліографія: 17 назв.

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By