Модель перерозподілу домішок у структурі “кремній-ДСС”
No Thumbnail Available
Date
2000
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Національного університету «Львівська політехніка»
Abstract
Запропоновано математичну модель для аналізу перерозподілу домішок у структурі “кремній - домішково-силікатне скло”, яка містить модель росту плівки ДСС і дозволяє підвищити точність моделювання дифузійних процесів при аналізі першої стадії дифузії та дослідити основні фізичні процеси на межі розділу двох середовищ ДСС-кремній. Дана модель реалізована в програмі ПроМІС-Т.
Description
Keywords
Citation
Теслюк В. М. Модель перерозподілу домішок у структурі “кремній-ДСС” / В. М. Теслюк, О. Р. Корбецький, П. П. Гранат // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2000. – № 398 : Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. – C. 49–57. – Бібліографія: 17 назв.