Модель перерозподілу домішок у структурі “кремній-ДСС”
| dc.contributor.author | Теслюк, В. М. | |
| dc.contributor.author | Корбецький, О. Р. | |
| dc.contributor.author | Гранат, П. П. | |
| dc.date.accessioned | 2017-04-10T11:50:13Z | |
| dc.date.available | 2017-04-10T11:50:13Z | |
| dc.date.issued | 2000 | |
| dc.description.abstract | Запропоновано математичну модель для аналізу перерозподілу домішок у структурі “кремній - домішково-силікатне скло”, яка містить модель росту плівки ДСС і дозволяє підвищити точність моделювання дифузійних процесів при аналізі першої стадії дифузії та дослідити основні фізичні процеси на межі розділу двох середовищ ДСС-кремній. Дана модель реалізована в програмі ПроМІС-Т. | uk_UA |
| dc.identifier.citation | Теслюк В. М. Модель перерозподілу домішок у структурі “кремній-ДСС” / В. М. Теслюк, О. Р. Корбецький, П. П. Гранат // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2000. – № 398 : Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. – C. 49–57. – Бібліографія: 17 назв. | uk_UA |
| dc.identifier.uri | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/37248 | |
| dc.language.iso | ua | uk_UA |
| dc.publisher | Видавництво Національного університету «Львівська політехніка» | uk_UA |
| dc.title | Модель перерозподілу домішок у структурі “кремній-ДСС” | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |