Хімічні технології отримання пористого кремнію для сонячних елементів

Abstract

Показана перспективність хімічних технологій отримання пористого кремнію (por-Si) для створення фотоелектричних перетворювачів (ФЕП). Використання текстури як ефективного та рентабельного покриття на основі макропористого кремнію, із застосуванням використанням хімічної технології, повинно бути максимально адаптоване до процесів створення кремнієвих сонячних елементів (СЕ). Хімічне (фарбувальне) травлення є потенційно перспективним технологічним напрямом створення пористих структур і може замінити електрохімічне травлення на певних етапах технології виготовлення електронних пристроїв та приладів для оптоелектронного використання з por-Si. Показані принципи створення базових розчинів, особливості ініціалізації процесу травлення кремнієвих підкладок різної провідності для СЕ. The perspectivity of silicon as material for the solar energy convertors (SEC) was shown. Textures utilization as effective and profitable macro porous silicon (MPS) -based coatings with using of acid technology’s must to be maximal adapted to process of decision of silicon based solar elements. Acid etching is potentially perspective technological route for design of porous structure. It may be replace by electrochemical etching at the some stage of production technology of electron devices for photovoltaic and optical electron application with por-Si. The principles of design of base solutions and features of initialization of etching process of silicon substrates of different conductivity for CE are shown.