Potentiality of LTCC for sensor applications

Abstract

Технологія виготовлення кераміки, відпаленої при низькій температурі (НТК), дозволяє реалізувати різноманітні структури для їх застосування в сенсорах. Приклади сенсорів, які виготовлені на кафедрі гібридної мікроелектроніки факультету електроніки і інформатики Технічного Університету в Кошице, демонструють високу якість і можливість застосування НТК в різноманітних товстоплівкових сенсорах. Сенсори для іншого використання можуть бути реалізовані на основі спеціальних НТК багатошарових структур. Potential of Low Temperature Cofired Ceramic (LTCC) multilayer technology allows to realize different structures for sensor applications. Examples of sensors realized at the Department of Hybrid Microelectronics Faculty of Electrical Engi¬neering and Informatics Technical University in Kosice have shown the quality of being potential or possibility of developing of LTCC for wide field of thick film sensor applications. Other sensor applications were realized on special shaped body based on LTCC multilayer.