Математична модель інтегрального ємнісного сенсора

Simple item page
dc.citation.epage180
dc.citation.issue522 : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика
dc.citation.journalTitleВісник Національного університету “Львівська політехніка”
dc.citation.spage175
dc.contributor.affiliationНаціональний університет “Львівська політехніка”
dc.contributor.authorТеслюк, В. М.
dc.contributor.authorЛобур, М. В.
dc.contributor.authorРаєвський, П. Ю.
dc.contributor.authorДенисюк, П. Ю.
dc.coverage.placenameЛьвів
dc.coverage.placenameLviv
dc.date.accessioned2020-03-23T07:48:54Z
dc.date.available2020-03-23T07:48:54Z
dc.date.created2004-02-18
dc.date.issued2004-02-18
dc.description.abstractЗапропоновано математичну модель інтегрального ємнісного сенсора. Для розв’язання рівнянь в часткових похідних використано метод скінченних різниць. Наведені результати залежності вихідних характеристик від геометричних параметрів мікросенсора та діелектричної проникності зовнішнього середовища.
dc.description.abstractIn article mathematical model for integral capacitive sensor is proposed. For solving differential equation finite differences method is used. Dependences of output characteristics from geometrical parameter of microsensor and environment permittivity are presented.
dc.format.extent175-180
dc.format.pages6
dc.identifier.citationМатематична модель інтегрального ємнісного сенсора / В. М. Теслюк, М. В. Лобур, П. Ю. Раєвський, П. Ю. Денисюк // Вісник Національного університету “Львівська політехніка”. — Львів : Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”, 2004. — № 522 : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика. — С. 175–180.
dc.identifier.citationenMatematychna model intehralnoho yemnisnoho sensora / V. M. Tesliuk, M. V. Lobur, P. Yu. Raievskyi, P. Yu. Denysiuk // Visnyk Natsionalnoho universytetu "Lvivska politekhnika". — Lviv : Vydavnytstvo Natsionalnoho universytetu "Lvivska politekhnika", 2004. — No 522 : Kompiuterni systemy proektuvannia. Teoriia i praktyka. — P. 175–180.
dc.identifier.urihttps://ena.lpnu.ua/handle/ntb/47579
dc.language.isouk
dc.publisherВидавництво Національного університету “Львівська політехніка”
dc.relation.ispartofВісник Національного університету “Львівська політехніка”, 522 : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика, 2004
dc.relation.references1. Gupta R.K., Zorian Y. Introducing in Core-Based System Design //Design & Test of Computer, Oct/Dec, 1997.
dc.relation.references2. Muller, R. S. and K. Y. Pan, “Surface-Micromachined Microoptical Elements and Systems,” in Integrated Sensors, Microactuators, Microsystems (MEMS), Vol.86, No. 8, Aug. 1998.
dc.relation.references3. Pister, K. S. J., et ai, “Microfabricated Hinges", Sensors and Actuators, Vol. A33, No 3, June 1992.
dc.relation.references4. R. Jacob Baker, Harry W. li,Daxid Bouce. CMOS: Circuit Design, layout and Simulation. Jonh Wiley and Sons publishers. 1988, 902 p.
dc.relation.references5. Maluf Nadim An introduction to microelectromechanical system egineering/ZLibrary of Congress Cataloging-in-Publication Data.
dc.relation.references6. Зи С. Технология СБИС. - M. - 1986. 1, 2 m.
dc.relation.references7. Моллер P., Кейшинс T. Элементы интегральных схем. - М, 1989 - 630 с.
dc.relation.references8. Тилл У, Лаксон Дж. Интегральные схемы. М.: - 1985 - 504 с.
dc.relation.references9. Таури Я. Основы технологии СБИС. М.: Радио и связь. 1985 - 480 с.
dc.relation.references10. Митрофанов С.И. Групповая технология машиностроительного производства. - Л.: Машиностроение, 1983. - 779 с.
dc.relation.references11. Тамм И.Е. Основы теории электричества: Учеб, пособие для вузов.-10-е изд., испр. - М.: Наука. Гл. Ред. Физ.-мат. Лит., 1989. - 504 с.
dc.relation.references12. Марков Г.Т., Петров Б.М., Грудинскии Г. И. Электродинамика и распространение радиоволн: Учеб, пособие для вузов. - М: Сов. Радио, 1979. 376 с.
dc.relation.references13. Максвелл Дж.К. Трактат об электричестве и магнетизме. В двух томах. Т.1.М.: Наука, 1989.
dc.relation.references14. Тихонов А. Н., Самарский А. А. Уравнения математической физики. М.: Наука, 1966 - 724 с.
dc.relation.references15. Годунов С.К., Рябенький В.С. Разностные схемы. - М.: Наука, 1973, - 400 с.
dc.relation.references16. Самарский А. А. Теория разностных схем. - М.: Ноулса, 1983. - 432 с.
dc.relation.referencesen1. Gupta R.K., Zorian Y. Introducing in Core-Based System Design //Design & Test of Computer, Oct/Dec, 1997.
dc.relation.referencesen2. Muller, R. S. and K. Y. Pan, "Surface-Micromachined Microoptical Elements and Systems," in Integrated Sensors, Microactuators, Microsystems (MEMS), Vol.86, No. 8, Aug. 1998.
dc.relation.referencesen3. Pister, K. S. J., et ai, "Microfabricated Hinges", Sensors and Actuators, Vol. A33, No 3, June 1992.
dc.relation.referencesen4. R. Jacob Baker, Harry W. li,Daxid Bouce. CMOS: Circuit Design, layout and Simulation. Jonh Wiley and Sons publishers. 1988, 902 p.
dc.relation.referencesen5. Maluf Nadim An introduction to microelectromechanical system egineering/ZLibrary of Congress Cataloging-in-Publication Data.
dc.relation.referencesen6. Zi S. Tekhnolohiia SBIS, M, 1986. 1, 2 m.
dc.relation.referencesen7. Moller P., Keishins T. Elementy intehralnykh skhem, M, 1989 - 630 p.
dc.relation.referencesen8. Till U, Lakson Dzh. Intehralnye skhemy. M., - 1985 - 504 p.
dc.relation.referencesen9. Tauri Ia. Osnovy tekhnolohii SBIS. M., Radio i sviaz. 1985 - 480 p.
dc.relation.referencesen10. Mitrofanov S.I. Hruppovaia tekhnolohiia mashinostroitelnoho proizvodstva, L., Mashinostroenie, 1983, 779 p.
dc.relation.referencesen11. Tamm I.E. Osnovy teorii elektrichestva: Ucheb, posobie dlia vuzov.-10-e izd., ispr, M., Nauka. Hl. Red. Fiz.-mat. Lit., 1989, 504 p.
dc.relation.referencesen12. Markov H.T., Petrov B.M., Hrudinskii H. I. Elektrodinamika i rasprostranenie radiovoln: Ucheb, posobie dlia vuzov, M: Sov. Radio, 1979. 376 p.
dc.relation.referencesen13. Maksvell Dzh.K. Traktat ob elektrichestve i mahnetizme. V dvukh tomakh. V.1.M., Nauka, 1989.
dc.relation.referencesen14. Tikhonov A. N., Samarskii A. A. Uravneniia matematicheskoi fiziki. M., Nauka, 1966 - 724 p.
dc.relation.referencesen15. Hodunov S.K., Riabenkii V.S. Raznostnye skhemy, M., Nauka, 1973, 400 p.
dc.relation.referencesen16. Samarskii A. A. Teoriia raznostnykh skhem, M., Noulsa, 1983, 432 p.
dc.rights.holder© Національний університет “Львівська політехніка”, 2004
dc.rights.holder© Теслюк В. М., Лобур М. В., Раєвський П. Ю., Денисюк П. Ю., 2004
dc.subject.udc621.3.049
dc.titleМатематична модель інтегрального ємнісного сенсора
dc.typeArticle

Files

Original bundle

Now showing 1 - 2 of 2
Thumbnail Image
Name:
2004n522_Tesliuk_V_M-Matematychna_model_intehralnoho_175-180.pdf
Size:
302.8 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Download
Thumbnail Image
Name:
2004n522_Tesliuk_V_M-Matematychna_model_intehralnoho_175-180__COVER.png
Size:
424.51 KB
Format:
Portable Network Graphics
Download

License bundle

Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
3.01 KB
Format:
Plain Text
Description:
Download

Collections

Комп'ютерні системи проектування теорія і практика. – 2004. – №522