New approach for modeling processes of doping redistribution during oxidization
| dc.contributor.author | Berezhansky, Volodymyr | |
| dc.date.accessioned | 2012-09-12T12:24:51Z | |
| dc.date.available | 2012-09-12T12:24:51Z | |
| dc.date.issued | 2012 | |
| dc.description.abstract | Redistribution of doping during diffusive-oxidizing processes is simulated. The optimal technological conditions of diffusive oxidizing processes is determined. | uk_UA |
| dc.identifier.citation | Berezhansky V. New approach for modeling processes of doping redistribution during oxidization / Volodymyr Berezhansky // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп’ютерної інженерії : матеріали ХІ Міжнародної конференції TCSET2012, присвяченої 60-річчю заснування радіотехнічного факультету у Львівській політехніці, 21-24 лютого 2012 року, Львів, Славське, Україна / Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2012. – С. 545. – Bibliography: 2 titles. | uk_UA |
| dc.identifier.uri | https://ena.lpnu.ua/handle/ntb/14231 | |
| dc.language.iso | en | uk_UA |
| dc.publisher | Видавництво Львівської політехніки | uk_UA |
| dc.subject | quasilinear process | uk_UA |
| dc.subject | The Deale-Grove’s model | uk_UA |
| dc.subject | interphase border | uk_UA |
| dc.subject | numerical methods | uk_UA |
| dc.subject | diffusive-oxidizing processes | uk_UA |
| dc.title | New approach for modeling processes of doping redistribution during oxidization | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |