New approach for modeling processes of doping redistribution during oxidization
Loading...
Files
Date
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Видавництво Львівської політехніки
Abstract
Redistribution of doping during diffusive-oxidizing processes is simulated. The optimal technological conditions of diffusive oxidizing processes is determined.
Description
Citation
Berezhansky V. New approach for modeling processes of doping redistribution during oxidization / Volodymyr Berezhansky // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп’ютерної інженерії : матеріали ХІ Міжнародної конференції TCSET2012, присвяченої 60-річчю заснування радіотехнічного факультету у Львівській політехніці, 21-24 лютого 2012 року, Львів, Славське, Україна / Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2012. – С. 545. – Bibliography: 2 titles.