Capacitance calculations for system of finite conducting paths

Abstract

Наведено результати теоретичного визначення ємності для системи з прямокутними провідними каналами в плівкових мікросхемах. Отримані результати є продовженням попередніх досліджень. У першому випадку розглядаються два паралельні провідні канали з визначеною шириною і довжиною, які розміщені на одному боці діелектричної підкладки невизначених розмірів. В іншому випадку ці канали відхиляються один від одного на кут 2а. Визначення ємності для обох випадків базується на розв’язанні тривимірної крайової задачі. Електричний потенціал подається у формі інтегралів Фур’є, які задовольняють рівняння Лапласа. Виходячи з цього, числовими методами розв’язується рівняння розподілу електричного заряду. На цій основі розраховується величина ємності. Results of theoretical capacitance determination for the rectangular conductive path systems in film microcircuit are presented in this paper. It is a continuation of earlier investigations. In the first order two parallel conductive paths with determined width and length located on the same side of dielectric microcircuit substrate of infinite dimensions is here considered. Next these paths are deflected in relation to each other at an 2a-angle The capacitance determination of both systems is based on the solution of three-dimensional boundary problem. Electrical potential is presented in form of Fourier integrals, satisfying the Laplace’s equation. Resulting from here the equation system of electric charge distribution has next been solved by application of numerical method. On this basis the capacitance value has been calculated.